ZKY-2000型真空度测试仪ZKY-2000型

ZKY-2000型真空度测试仪ZKY-2000型

一、主要特点

★基于电离电荷的采样技术
ZKY-2000型真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我厂专家在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此，我厂*了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。

★漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时，会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性，并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
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二、技术参数

▲测量范围： 1*10-5～1*10-1pa
▲测量误差： l*l0-4～1*l0-1pa中误差<5%
▲测量分辨率： 10-5pa
▲允许环温： O℃～55℃
▲空气湿度： <85%RH
▲电 源： AC220士10%
▲外型尺寸： 430X300X235mm
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