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详细介绍
配备AutoMET测量分析软件的Dimension Edge PSS 原子力显微镜
专为高精度的蓝宝石图形化衬底表征设计的原子力显微镜
搭配AutoMET™测试分析软件的Bruker Dimension Edge™ PSS 原子力显微镜具有，是专为LED检测设计的用于生产和研发的原子力显微镜。作为Dimension Edge AFM的延伸，现在推出的Edge PSS （蓝宝石图形化衬底）测试体系将原有的Dimension系列原子力显微镜强大的测试功能和升级的图形化衬底高精度检测*结合，成为LED检测的理想选择。
利用AFM的超高分辨率提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量，配备齐全的AutoMET测试分析软件，自动测试每一个样品细节，并且高效迅速地完成数据分析获得完整的蓝宝石图形化衬底的信息，大大提升Dimension Edge™ PSS 原子力显微镜的性价比，提供*的自动化测量分析功能。
*的 PSS 检测技术
利用AFM的超高分辨率提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量，配备齐全的AutoMET测试分析软件，自动测试每一个样品细节，并且高效迅速地完成数据分析获得完整的PSS信息：
· 高度
· 侧壁角度
· 表面轮廓
· 直径（底部尺寸）
· 间距
Dimension Edge PSS AFM配备自动检测成像软件，提供的高精度测量数据，满足技术要求，噪声水平<0.2nm，提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量；样品台可容纳2-到6-英寸的wafer，可以灵活选择样品尺寸进行测量；AutoMET自动测量分析软件可以同时测量9片2-英寸的wafer。
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