进口超高纯减压器

进口超高纯减压器

美国力沃阀门（）有限公司广州总代理-美国LEO

超高纯减压器简介：

适用于超高纯净气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封产用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

进口超高纯减压器

结构特点 Features

膜片式硬密封，泄漏率低

可采用面板安装和后座安装

压力表标准连接： 1/4” FSR(M)

可选：1/4” FSR (F)

内部电解抛光

高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业

使用寿命长

通过氦气测试

材质 Materials

母体：316L

阀座：PCTFE

膜片：316

上盖：316

功能特性 Functional Performance

流量：Cv=0.054

母体泄漏率：2x10 -8 atm cc/sec He

阀座泄漏率：4x10 -8 atm cc/sec He

设计验证压力：zui大额定压力的 150%

设计爆破压力：zui大额定压力的 400%

工作条件 Operating Conditions

zui大的入口压力：300 psi (20 bar)

出口压力：0- 30 psi (2 bar)

温度： -18℃~60℃(0℉~140℉)

流道表面 Surface Finish

标准：Ra 20μin

可选：Ra 10μin

内部容积 Internal Volume

9.3 cc