美国7503D1三轴可变电容加速度传感器

7503D1三轴可变电容加速度传感器

深圳市汉斯福特科技有限公司

杨工

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公司地址：龙华新区大浪街道大浪社区伟达工业园A栋2楼

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概述

The Dytran 7503D1 is a high precision triaxial variable capacitance (VC) accelerometer available with a 2g range. The accelerometer combines an integrated VC accelerometer chip with high drive, low impedance buffer and differential output for low level acceleration measurements.

在加速度传感器中有一种是三轴加速度传感器，同样的它是基于加速度的基本原理去实现工作的，加速度是个空间矢量，一方面，要准确了解物体的运动状态，必须测得其三个坐标轴上的分量；另一方面，在预先不知道物体运动方向的场合下，只有应用三轴加速度传感器来检测加速度信号。由于三轴加速度传感器也是基于重力原理的，因此用三轴加速度传感器可以实现双轴正负90度或双轴0-360度的倾角，通过校正后期精度要高于双轴加速度传感器大于测量角度为60度的情况。

Tailored for zero-to-medium frequency applications, the Dytran model 7503D1 has a low end frequency response of 0 Hz, and an upper frequency range of 400 Hz. This module contains hermetically sealed MEMS capacitive sensing elements, a custom integrated circuit amplifier and low noise electronics, housed in a lightweight titanium, with 9-pin 5/16-32 radial connector and easy mounting via two #8 or M4 screws.

目前的三轴加速度传感器大多采用压阻式、压电式和电容式工作原理，产生的加速度正比于电阻、电压和电容的变化，通过相应的放大和滤波电路进行采集。这个和普通的加速度传感器是基于同样的一个原理，所以在一定的技术上三个单轴就可以变成一个三轴。对于多数的传感器应用来看，两轴的加速度传感器已经能满足多数应用。但是有些方面的应用还是集中在三轴加速度传感器中例如在数采设备，贵重资产监测，碰撞监测，测量建筑物振动,风机,风力涡轮机和其他敏感的大型结构振动。

特性

1. 2,000 mV/g sensitivity

2. 2g range

3. 0 to 400 Hz frequency range (3dB)

4. 9-pin 5/16-32 radial connector

5. Mounting via two #8 or M4 screws

6. 38 grams

7. Titanium

8. Hermetic

9. Case isolated

10. Differential output

11. Operates from +9 to +36 VDC

12. Triaxial

13. DC response

加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；工业现场测振传感器，主要是压电式加速度传感器。其工作原理主要利于压电敏感元件的压电效应得到与振动或者压力成正比的电荷量或者电压量。目前工业现场典型采用IEPE型加速度传感器，及内置IC电路压电加速度传感器，传感器输出与振动量正正比的电压信号。

应用

1. Airbag testing

2. Crash testing

3. Robotics

4. Seismic monitoring

5. Tilt measurement

加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就好比地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量。加速度计有两种：一种是角加速度计，是由陀螺仪（角速度传感器）改进的。另一种就是线加速度计。

参数

Weight, Max 1.3 oz 38 grams

Material Titanium Alloy Titanium Alloy

Sensing Technology MEMS MEMS

Input Range ±2 g ±19.6 m/s2

Frequency Response (3dB), Nom 0 - 400 Hz 0 - 400 Hz Notes:

Sensitivity Differential, ±5% [1] 2000 mV/g 204 mV/m/s2 [1] Single ended sensitivity is half of values shown. (Ref. at 100 Hz)

Output Noise, Differential ,Typ 5 μ g rms/√ Hz 49 μ m/s2 /√ Hz [2] -90% to +90% of Full Scale.

Non-Linearity, Max [2] 0.5 % F.S 0.5 % F.S

Cross Axis Sensitivity, Max 3 % 3 %

Maximum Mechanical Shock (0.1 ms) ±2000 gpk ±19620 m/s2 peak

Bias Temperature Shift ,Max [3] 167 (ppm of span)/°F 300 (ppm of span)/°C

Bias Calibration Error, Max 4 % of span 4 % of span

Operating Temperature Range -40 to +250 °F -40 to +121 °C

Seal Hermetic Hermetic

Output Common Mode Voltage, Typ 2.5 VDC 2.5 VDC

Output Impedance <100 Ω <100 Ω

Operating Voltage +9 to +36 VDC +9 to +36 VDC

Operating Current (AOP &AON open), Max 35 mA Dc 35 mA Dc

Power Supply Rejection Ratio >65 dB >65 dB

并把一维或二维纳米材料连接成测量电桥；所述的信号处理电路包括：整流稳压电路、载波振荡器、测量电桥和交流载波放大器。加速度(力)信号作用在质量块上，使膜片发生应变，利用膜片上的纳米材料测出应变，利用全桥检测方法，将材料应变转化为电信号，再通过一系列的信号处理过程，从而得到被测加速度信号的数值。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。

配件

Supplied Accessories: (2) model 6753A1 (8-32), (2) model 6687A1 (M4), (1) model 6360 (1/4-28 to 1/4-28) mounting stud, (1) model 6691 (1/4-28 to M6x1) mounting stud

Recommended Accessories: model 4010 signal conditioner

Compatible Cables: 6956A, 6964A

加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就好比地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。加速度计有两种：一种是角加速度计，是由陀螺仪（角速度传感器）的改进的。另一种就是线加速度计。

订货型号

7503D1 ±2 0-400 2000 2000 5

7503D2 ±5 0-600 800 2000 7

7503D3 ±10 0-1000 400 5000 10

7503D4 ±25 0-1500 160 5000 25

7503D5 ±50 0-2000 80 5000 50

7503D6 ±100 0-2500 40 5000 100

7503D7 ±200 0-3000 20 5000 200

7503D8 ±400 0-4000 10 5000 400

7503D9 ±5(X&Y), ±25(Z) 0-600(X&Y), 0-1500(Z) 800(X&Y), 160(Z) 2000 7(X&Y), 50(Z)

7503D10 ±5(X&Y), ±50(Z) 0-600(X&Y), 0-2000(Z) 800(X&Y), 80(Z) 2000 7(X&Y), 25(Z)