菏泽电子工厂中洁净室的几种型式

菏泽电子工厂中洁净室的几种型式

         近年来，电子产品生产用洁净室有多种形式，根据在电子工厂中已实际应用的各种类型的洁净室形式进行简单描述。

    1根据电子产品生产工艺要求，空气洁净度等级和平面或空间布置要求，微电子厂房洁净室布置形式一般有隧道式或港湾式、开放式、岛形布置。如集成电路芯片制造用洁净室一般采用隧道式和开放式，其中隧道式洁净室主要用于5〞6〞芯片制造厂，生产工艺设备跨洁净生产区和设备维护区，洁净生产区对洁净度要求严格，而维护区的空气洁净度等级较低。目前8〞12〞芯片制造工厂普遍采用开放式洁净室加微环境的方式，将芯片制造过程对空气洁净室的洁净度等级只需要5-6级，这种洁净室形式即可做到工艺布置的灵活性，又可做到减少建设投资和降低能量消耗、降低运行费用等。

    2按气流流型划分洁净室时，可划分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。1）单层洁净室，在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层，上技术夹层内设置空气过滤装置、风管和公用动力管线；下技术夹层为回风道。这种形式适用于规模较小的洁净室。2）多层洁净室，在单向流洁净生产区吊顶格栅以上设有送风静压箱货循环空气处理设备或空气过滤单元机组等的上技术层；在单向流洁净生产区的活动地板以下设有回风静压箱或辅助生产设备或公用动力设备、管线等的下技术层。有的电子工业洁净厂房的下技术层。有的电子工业洁净厂房的下技术层根据需要可以一层或二层。

         菏泽电子工厂中洁净室的几种型式，非单向流洁净室是采用非单向流气流流型的洁净室，主要用于空气洁净度等级为6-9级的洁净室，此类洁净室当单侧回风室其宽度一般不大于6m。混合流洁净室是在同一洁净室内，同时存在单向流和非单向流两种气流流型的洁净室。