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压电类传感器的基本特点是，与VOC的接触响应形式体现为频率的变化。它又分为石英晶体微量天平（QCM）传感器和声表面波（SAW）传感器两种。压电类传感器既可以测量温度和质量的变化，又可测量压力、力和加速度等参数，但在电子鼻系统中，它们一般只作为质变量传感探测器使用。QCM传感器是一个几毫米直径的谐振盘，盘面敷有聚合物材料，每面有一个与导线相连的金属电极，结构如图2所示。当该传感器受振荡信号激励时，便谐振于特征频率（10Hz～30MHz），而一旦气体分子被吸收到聚合物涂层表面，就增加了该盘的质量，因此降低了谐振频率，谐振频率的高低与所吸收的气体分子质量成反比。QCM传感器对不同气体的响应、选择性可通过调整谐振盘聚合物涂层来改变，而减小石英晶体的尺寸和质量，并减小聚合物涂层的厚度，则可进一步缩短传感器的响应时间和恢复时间。LPS-0.6kg

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声表面波（SAW）传感器与QCM传感器的主要区别为：（1）瑞利波是经SAW的表面运行，不是像QCM一样通过其体内；（2）SAW传感器工作频率更高，因此可产生更大的频率变化。QCM的典型工作频率仅是10MHz，而SAW器件则在几百MHz；（4）由于SAW是平面器件，所以可用微电子工业普遍采用的光刻技术来制造，而不像QCM那样需要微电子机械系统（MEMS）进行三维处理，因此批量生产的成本更低。但是，SAW传感器的信噪比逊于QCM传感器，因此在许多情况下，前者的灵敏度要低于后者。

电子鼻传感器的第三大类是金属氧化硅场效应管传感器（MOSFET）。其工作原理是：VOC与催化金属材料相接触所生成的反应产物（如氢）会扩散通过MOSFET的控制极来改变器件的导电物性。如图3所示，典型的MOSFET结构有一个P型衬底和在衬底上扩散的两个掺杂浓度很高的N型区，两个N区的金属触点分别称为源极和漏极29048704。器件的灵敏度和选择性可通过改变金属接触剂的类型和厚度以及改变工作温度来改变。MOSFET的优点之一是可依托IC制造工艺，批量生产、质量稳定，主要问题是接触反应产物（如氢）必须渗入催化金属涂层来影响沟道中的电荷，这就对芯片的密闭封装方式提出了更苛刻的要求。MOSFET与导电性传感器一样，也存在基准值漂移问题。

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