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详细介绍
离子体增强型化学气相沉积设备、1、产品用途
本设备在硅片或光学玻璃等沉底材料上沉积半导体薄膜材料，可用于SiOx、 SiNx、 SiONx、a-Si、石墨烯等材料的制备，在微电子、新材料、新能源等方向有广泛应用。通过稳定可靠的高精度真空机械手臂，将基片在工艺室和传输室间传输，实现工艺室不放大气，连续生产。配置高性能等离子体，可根据客户需求定制等离子体参数。
2、技术参数
| 基片尺寸 | 可选：4"、6"、8"、12" |
| 极限真空度 | 5×10-1Pa （机械泵配置） |
| 前级泵 | 可选：机械泵、干泵 |
| 加热器 | 800℃，可选配升降及旋转功能（更高温度可定制） |
| 工艺气体 | 配3路MFC充气，气体种类可选，更多需求可定制 |
| 水路系统 | 采用进口水路检测传感器，实现各路水流量及温度的监控 |
| 软件控制 | 可编辑、储存多种工艺配方，任意调用，适用于工艺研究 |
| 具备“一键启动式（全自动）生产”功能，适用于小批量生产 | |
| 账户分三级权限设置，提高系统安全性及工艺保密性 | |
| 各种安全互锁设计，防止误操作 | |
| 其他 | 如有其他特殊需求可定制 |
离子体增强型化学气相沉积设备
成都华聚科技有限公司位于成都市经济技术开发区（龙泉驿），是一家以自动化设备技术为核心，致力于数字化智能制造装备的高科技企业。
公司与国内外多个研究所、高校和企业*合作，始终以超前的科技和强大的创新能力，服务于客户。
公司主营业务覆盖：Cluster团簇式半导体工艺设备、PECVD设备、PVD设备、CVD设备、核心部件（机械手、加热器、Cluster团簇中心传送平台）、定制化真空设备、机电一体自动化服务（机电物联网服务）等一系列的产品或解决方案。
公司始终以“技术体现我们的智慧，质量体现我们的尊严” 作为公司经营理念，同时加强售前售后服务，我们始终以“质量良好、服务优先、技术*”作为追求目标。
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Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).
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