龙门式碳化硅基体超高精度气浮直线平台

龙门式碳化硅基体超高精度气浮直线平台

Planar HDX使用碳化硅陶瓷作为气浮导轨基体材料，采用线性放大器和无铁芯直线电机作为驱动，高精度光栅尺或激光干涉仪作为反馈系统，配有主动隔震系统，在*的高级控制算法控制下，能够提供高级别的动态性能和超精密定位精度。

龙门式碳化硅基体超高精度气浮直线平台详细介绍

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