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长春市海洋光电有限公司
我们的1000 W紫外大面积曝光光源包括近紫外(350 - 450 nm)、中紫外(260 - 320 nm) 和深紫外(220 - 260 nm)光源。近紫外是经过专门设计,可曝光大部分光刻胶;中紫外用于聚合物交联以及新型光刻胶;深紫外主要用于深紫外光刻胶的研究。我们的照明器可辐照 2.13 x 2.13英寸 到 10 x 10 英寸的样品。
我们的1000 W紫外大面积曝光光源包括近紫外(350 - 450 nm)、中紫外(260 - 320 nm) 和深紫外(220 - 260 nm)光源。近紫外是经过专门设计,可曝光大部分光刻胶;中紫外用于聚合物交联以及新型光刻胶;深紫外主要用于深紫外光刻胶的研究。我们的照明器可辐照 2.13 x 2.13英寸 到 10 x 10 英寸的样品。近紫外、中紫外和深紫外光源为HgXe灯,在工作平面上产生高度均匀的准直光束。
特点: • 高强度输出 • 强度分布均匀的大面积准直光束 • 高效带外抑制 • 定时曝光
紫外大面积曝光光源技术参数:
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