Inficon冷阴极电离真空规 返回列表页

测量范围（空气，氮气)

mbar (Torr)

5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3)

精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar

%

≈±30%

重复性1×10 -9…1×10 -3mbar

%

≈±5%

安装方位

不限

容许压力

Bar

≤10（限于惰性气体）

容许温度
操作（环境）
储存
输出

℃
℃
℃

+5 … +55
–40 … +65
2501)(扩展版 2)

电源电压
标准
供电量 3
电压频率

V (dc)
V (dc)
Vpp

+15…+30
+16…+30
≤1

耗电量

W

≤2

保险丝连接

AT

≤1

输出信号（测量信号）
电压范围
测量范围

V
V

0…+10.5
+1.96…+8.6

相对压力
误差

V

对数, 0.8 V/decade
<0.5 (无供应)

输出电阻
最小负载电阻

Ω
KΩ

2 × 10
10、防短路

响应时间
p>10-6mbar
p=10-8mbar

MS
MS

<10
≈1000

识别量规

KΩ

7.15，供参考使用

电气连接
传感器电缆
电缆长度

M

FCC 68电器连接器，8极，内螺纹
8极加屏蔽
≤50(8×0.14mm2)

工作电压
工作电流

kV
μA

≤3.3
≤100

暴露于真空中的材料

不锈钢，氧化铝，银，

内部容积

cm³

≈20

重量
DN 40 CF-F

g

≈950≈1100

保护类别

IP 40

标准

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1