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侧导高真空磁控溅镀着膜系统

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更新时间：2022-10-02 12:07:39浏览次数：193次

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岳阳市瑾耀精密设备有限公司

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产品简介

为配合客户降低生产成本之所需，本公司特研发此体积小高产能的新一代真空镀膜设备

详细介绍

为配合客户降低生产成本之所需，本公司特研发此体积小高产能的新一
代真空镀膜设备。其特点为︰高自动化、抽气速率快；新颖的转盘
设计大大的提升了真空镀膜设备的效能﹔单腔体运作可降低维修成本；
三溅射靶同时镀膜亦可令镀膜时间缩短

系统规格

生产速度	一炉25 分钟可放256 制具约 2265088 PCS<0603>/40 min
换料方式	制具转盘整组更换
高真空帮浦	高真空冷冻帮浦10 inch
粗真空帮浦	机械帮浦，抽气速率：1000L/min
真空工作室	不锈钢，附循环冷却水管路
溅射靶源	5×22 inch 磁场环绕平面阴极×3
真空计量	低真空计TC gauge 1.0E3～1.0E-3 Torr 高真空计Ion gauge 1.0E-3～ 1.0E-5 Torr
溅射电源	10kw 直流电浆电源供应器×3
制程控制	触控屏幕操作之全自动控制/手动控制单元
制程气体	氩气0～200sccm
工作压力	1.5E-1～1.0E-5 Torr