早关于真空油炸文献的报道开始于1972年的美国(US3635722)，该文献提出了原始的封闭式油炸模式。1977年，日本（No.28865）提出油炸香蕉设备及工艺，但是油炸产品的脂肪含量太高，产品品质较差。
　　
　　1983年和1985年，日本（Nos.183048/1983和92718/1985）介绍的真空油炸设备在技术上作了较大的改进，原料在真空条件下油炸，并且在真空状态下脱油。由于原先真空油炸技术中存在的一些缺陷，例如：产品易变形、皱缩，油炸温度低、时间长，1989年美国US4828859提出了使用预处理技术的真空油炸果蔬产品的方法和设备，从而对该技术进行了改进。
　　
　　1993年，美国US5182982提出了连续型真空油炸设备，简化了进料、出料工序，防止产品的在油炸锅内的沉积，改进了产品质量，提高了生产效率。日本和我国中国台湾省在此项技术上发展较快，其技术与设备出现在东南亚地区，并逐渐向世界各个地区推进，我国的食品科研开发机构，在引进的基础上，对低温真空油炸技术进行了多方位的吸收与创新。
　　
　　1991年中国台湾果蔬脆片厂商相继在大陆设厂，1993年列为星火计划开发项目，迅速发展起来。同年，山东同庆商务有限公司食品工程部在同类设备的基础上，经过改进研制成为低温真空油炸设备，被评为新产品。1995年我国成功研制出YZG-5型低温真空加压浸渍油炸机械，它使我国果蔬脆片的生产向着连续化、自动化、密闭式、脂肪含量自动监控等方面发展。同年，陈淑梅等在“真空油炸脱油设计”一文中提出了对于各种果蔬脆片在真空状态下进行油炸脱油的设备，并论述了该设备的工作原理、结构特点及设计要求。该设备采用了在真空油炸锅内直接脱油而不需要将加热油排出真空室的真空油炸脱油一机完成作用。
　　
　　1996年，北京星印机械有限公司提出了一项新型真空油炸机的发明（CN2223558Y）。该设备提高了单机生产率，缩短了生产周期。成品能保持原有色泽、风味和营养。1999年，郑晓等在“回油式真空油炸脱油机设计”一文中介绍了一种回油式真空油炸脱油机及系统的结构、工作原理并对主要设计参数进行了分析和计算。该设备是实现同罐油炸和脱油的第二代机型中的一种，主要特征是油炸后，炸罐内热油放出至贮油罐，再进行离心脱油。
　　
　　2000年，天津商学院夏德昭等在“双锅交替式真空油炸机的设计”一文中详细阐述了双锅交替式真空油炸机的设计思路、原理。该装置采用双锅，特殊的快速装卸盛料网篮和可以双向过滤的油过滤器设计，性能优越。另外，还配有单片机作为控制核心，PC机作为集中监控，其自动控制技术*。2001年辽宁人关逾申请了一项实用油炸设备（CN2419834Y）。该设备是一种用于蔬菜、水果深加工的低温真空油炸装置。该装置加装了添料器于反应罐中，达到低温真空油炸操作和脱油处理一次性完成。
　　
　　综上所述，较为理想的低温真空油炸设备应该具有较率，能在较短的时间内处理大量三次蒸汽并能较快建立起真空度不低于92Kpa的真空条件；另外，还具有机内脱油装置，可以实现在真空条件下脱油，这样可以有效降低产品的含油率；后，还要具有温度时间等参数的自动控制装置，避免人为因素造成产品质量的不稳定。