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3660标准质量流量控制器

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更新时间：2017-08-28 11:30:15浏览次数：472次

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北京北方华瑞自动化科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：362条

所在地区：北京

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产品简介

3200系列高等级质量流量控制器- 高精度控制- 全316L结构- 高性价比

详细介绍

【概述/特点】
KOFLOC公司简介: 日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
【技术规格】
3660系列标准质量流量控制器在分析设备、真空设备、分析研究等方面取得满意效果实现高精度的快速控制流量范围：50～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM 控制阀：常闭，电磁隔膜阀控制范围：2～FS 反应时间：0～，≤ 2秒精度：±1.5%以内重复性：±0.5%以内使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA 5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA 压力限制：980KPA 泄露率：1×10–8 Pa m3/second 或更小操作温度：5～45°C 接触介质的材质：本体: SUS316L 阀座: Viton TM (可选: Noeprene TM) 密封材料: Viton TM (可选: Noeprene TM) 连接：1/4SWL，可选1/8SWL，1/4VCR和1/4RC 电气连接：9针插座控制信号：0-5VDC ]输出信号：0-5VDC 电源：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA