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半导体器件设备-硅片显影定影设备

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更新时间：2017-08-09 09:09:17浏览次数：440次

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北京华林嘉业科技有限公司

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产品简介

半导体器件设备-硅片显影定影设备全自动显影机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB 1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术*、*性强，适用于规模生产。

详细介绍

半导体器件设备-硅片显影定影设备

全自动显影机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB 1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术*、*性强，适用于规模生产。 2．整台设备材料均为进口。 3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可同时完成相应的工序。 4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。 5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。 6．工作区洁净度：100级。 7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S有需求此方面设备的朋友，咨询：/ /52112455///耿彪。本公司律师顾问团郑重声明：依据国家有关法律，在中华人民共和国范围内，北京华林嘉业科技有限公司是*拥有对有关“华林嘉业”字样名称及商标等权的合法性公司，任何个人机构不得擅自使用。