CN三座标非接触测量显微镜
本仪器所使用的影像测量技术、图像处理技术、 自动调焦技术、亚象素寻边技术测量分析软件*提高测量精度和测量效率。仪器光学系统品质优良，物镜成像清晰，倍率广泛。提供物体轮廓（透射）和表面（反射）同轴照明，保证物体影像清晰。 导轨、丝杠、光栅尺、电机等关键部件全部选用国外，保证系统的高质量和高可靠性。
自动识辨物体焦面位置和自动寻找物体亚象素边界。 优质运动控制器和图像传感器，保证高品质图像质量和工作台的低噪音平稳运动。 X、Y、Z轴全部电机闭环控制运动，Z轴装有粗微调焦手轮调节以适应测量工件高度要求。多种形位尺寸（几何元素）测量，点、线、面、圆、椭圆、球面及其几何元素间的关系，圆度、球度、平面度等形状公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定义与自动三维采点测量，按国标GB11337-98的各种方法自动进行平面度误差检测。 提供测量编程指令，具有自学习编程功能，自动批量快速测量，大大提高检测效率。
人性化方便的运动控制和多种方式的测量功能，编程和自学习，成倍提高测量效率。 系统提供多达20个机械坐标和工件坐标。 无需转台，实时非接触测量物体的高度、距离、角度等参数。 无需倾斜台，对物体基准面进行数学找正，避免物理找正的烦琐。 提供强大的数理统计分析和数据库功能：统计参数计算，正态、历史、直方图、X2、T、F分布，X2、T、F检验，单因素方差分析和相关性检验等。 输出结果形式多样，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等应用软件使用。 几何形状测量与构造实时图形的直观显示，利于测量检查。 提供在线帮助功能，操作简便，易学易用。
技术参数
| 工作台行程 | 标配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
| 选配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm |
| 光学尺分辨率 | 标配：0.001mm闭式; 选配：0.0005mm闭式,0.0001mm开式 |
| 重复定位精度 | X,Y,Z: ≤0.0015mm |
| 重复调焦精度（倍率大于150X） | ≤0.0015mm |
| 系统不确定度 | 分辨率为0.001mm时：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 分辨率为0.0005mm时：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 分辨率为0.0001mm时：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
仪器配置
| 部件名称 | 规格（标配） | 选件 | 备注 |
| CCD工业摄像头 | 彩色CCD（1/2”） | 黑白CCD（1/2”） | 复合或标准视频 |
| 工业显微镜 | 连续变倍：1:10 1.5X物镜 （50～500X） | 连续变倍：0.7-4.5X; 工业内照明高倍率长工作距显微镜，物镜倍率：3X～100X | C-Mount接口 |
| 计算机系统 | 商用PC，98/2000/XP | 工业控制机 ,彩色喷墨打印机 | |
| 测量控制软件 | TDYMS V60CNC | | |
| 底座 | 花岗石00级 | | |
| 照明光源 | 透 6V20W，反21V150W可调卤素灯 | 外接照明 | |
| 工作台行程 （测量范围） | X:150mm,Y:150mm，Z:100mm | X:100-400mm，Y:100-200mm Z:100-200mm | Z轴带有粗微调机构,以满足不同高度工件的测量 （80mm 范围） |
| 驱动方式 | X、Y、Z：CNC电动 | JOG控制盒 | |
| 驱动电机 | 三相步进电机 | 伺服电机 | |
| | | | | | |
