臭氧杀菌对浓度是有要求的；如果臭氧浓度过低是没有杀菌效果的；下面简单说明一下各类级别要求的臭氧浓度（臭氧浓度单位ppm）

臭氧杀菌一般普通的卫生用品车间要求1~5ppm；开机一小时即可

普通的食品车间要求5~10ppm;灭菌级别为十万级；

万级无菌车间则要求10~20ppm;制药车间现在称为C级

B级无菌车间要求臭氧浓度检测在30~50ppm

*无菌车间要求更为严格；一般建议臭氧浓度检测在50~100ppm

臭氧灭菌时因臭氧浓度过高；是禁止人员在消毒区域停留的。

臭氧灭菌停止后臭氧浓度不会马上降下来的；一般要降到安全浓度范围是有一个时间段的；如果室内温度低；臭氧分解则慢；如果室内温度高则分解快；一般要求1~2小时后才能进入灭菌区域。

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检测灭菌效果有两种方法：一；用臭氧浓度检测仪检测；二；检测沉降菌