臭氧发生仪制取臭氧的原理有DBD法、电解水、紫外照射、核辐射等。使用的是介质阻挡放电法（DBD)。它由臭氧管、臭氧电源组成臭氧单元，也是臭氧机的zui基本装置。臭氧机种类较多按结构可分为：移动式、外置式、内置式、壁挂式、落地式等。按阻挡介质分为：玻璃、陶瓷、搪瓷、云母等。臭氧机适用于所有场合的空气处理和水处理，处理空气时可使用低浓度的臭氧机。用于水处理时（含净水和污水）必须使用高浓度臭氧机（浓度高于10mg/L有利于气水溶解）。
臭氧发生仪按配置可分为。高配：含气源及气源净化装置无需其它辅助配套装置即可独立使用。标配：臭氧发生器单元、控制装置、机箱等能产生臭氧的zui基本装置，使用时需外接气源。低配：通常是无气源开放式臭氧机，臭氧放电体直接电离周围空气中的氧生成臭氧，自然扩散达到处理目的，工作时受环境温度和湿度影响较大。
大型由于体积大通常以机组形式出现。成套系统由臭氧主机、臭氧电源、气源及气源净化装置组成。大型自来水厂、污水处理、化工厂等广泛应用。
臭氧在19世纪就被人们发现具有较强氧化及杀菌能力,对酒精、木材、淀粉、植物色素、橡胶、动植物油等物质都具有氧化能力。如今臭氧应用已深入到水处理、化学氧化、食品加工及医疗等行业中。
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