可选XY 工作台类型
1010C: 100 x 100mm 
2010C: 200 x 10
2017C: 200 x 170mm 
4020C: 400 x 200mm
性能参数
型号（XY工作台尺寸） | 1010C | 2010C | 2017C | 3017C | 4020C | |
货号 | MF-A | 176-662* | 176-663* | 176-664* | 176-665* | 176-666* |
MF-B | 176-682* | 176-683* | 176-684* | 176-685* | 176-686* | |
XY工作台行程范围 | 100*100mm | 200*100mm | 200*170mm | 300*170mm | 400*200mm | |
Z轴移动范围 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm | |
调焦方式 | 手动调焦（粗调焦：30mm/rev.,微调焦：0.2mm/rev.) | |||||
测量方法 | 线性编码器（2轴型：X/Y轴，3轴型：X/Y/Z轴） | |||||
分辩率（可转换） | 0.001mm/0.0005mm/0.001mm | |||||
测量精度（20℃时） | XY轴：（2.5+0.02L)um ，L为无负载测量长度（mm），JISB7153 | |||||
指示精度（20℃时） | Z轴：（5+0.04L)um,L为测量长度（mm） | |||||
浮动功能 | 带有快速释放功能的X和Y轴 | |||||
XY工作台台面尺寸 | 280*280mm | 350*280mm | 410*342mm | 510*342mm | 610*342mm | |
载物玻璃有效尺寸 | 180*180mm | 250*150mm | 270*240mm | 370*240mm | 440*240mm | |
旋转功能 | — | — | ±5°(左） | ±5°（左) | ±3°(左） | |
台面zui大承重 | 10kg | 20kg | 20kg | 20kg | 15kg | |
zui大工件高度 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm | |
