详细摘要：图尔克传感器具有结构简单、灵敏度高、分辨力高，能感受0.01μm甚至更小的位移、无反作用力、动态响应好、能实现非接触测量、能在恶劣环境下工作等优点，而且随着新工艺、新材料问世，特别是电子技术的发展，使干扰和寄生电容等问题不断得以解决，因此越来越

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