真空度测试仪器

一、ZKY-2000型真空度测试仪器技术参数
1. 真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5
2. 离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7
3. 测 量 误 差： ＜10%
4. 测 量 分 辨 率： 10-5pa
5. 允许环境温度： -20℃～50℃
6. 空 气 湿 度： ≤80%RH
7. 电 源： AC，220V，50Hz±10%
8. 外 型 尺 寸： 420×290×210（mm）
9. 高 压 输 出： 脉冲30kV15kHz
⒑ 重 量： 8kg

二、ZKY-2000真空度测试仪器测试原理
将灭弧室的两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压，将电磁线圈环绕于灭弧室的外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，这样在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子做螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管，真空度测试仪在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同，当测知离子电流后，通过离子电流一真空度曲线，由计算机自动完成真空度的计算，并显示真空度值。

三、ZKY-2000真空度测试仪器使用方法
（1）将真空弧室开距，并清洁其表面，然后按图2所示悬挂好励磁线圈绑紧，并连接好连线，并通过拔码开关输入灭弧室管型。
灭弧室管径小于80mm为0号管型
管径大于80mm小于100mm为2号管型
管径大于100mm小于110mm为4号管型
管径大于110mm为6号管型
（2）检查连线无误后，打开电源开关。按复位键，确保仪器处于初始状态。
（3）按检漏键对真空管进行检漏。
测试真空度前应进行检漏。检漏时应注意真空管外是否擦拭干净并烘干。若真空管已严重泄露，可不必进行真空度定量测试，若检漏合格，则再进行定量测试。
（4）按测试键对真空管进行测试。
按测试键后，测试仪首先显示电场电压与磁场电压并进行自动充电过程。当两电压达到一定值后，测试仪自动将电场电压和磁场电压加到真空管及励磁线圈上，同时自动启动测试分析程序，显示被测真空管的测试结果并自动对仪器内部电容进行放电。
本仪器的zui小测量值为1.06×10-4Pa，如果被测真空管真空度优于此值，显示结果仍为1.06×10-4Pa。对真空断路器而言，说明真空泡真空度完好，记录测试结果时可记为＜10－4 Pa。
如真空度劣于6.6×10-2Pa，则该真空泡不合格。
如果需多次对同一真空管进行测试，则相邻两次的测量时间间隔不要少于10分钟。否则，由于管内被电离的空气来不及恢复到正常状态从而导致测试结果失真。

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