真空阀门大致有两种:一种是关闭后隔绝大气和真空空间的开关形阀门,另一种是调整通气量的流量可变阀门。后者在导入气体之类的设备上使用。    １.开关气路

    一般而言的真空阀门是指开关气路阀门。阀门的基本功能是在关闭时确实隔绝大气和真空空间。

   （1）真空阀门的基本结构

（1）阀门封口部,

（2）传动轴,

（3）外罩封口部。

以L形阀门为例如图所示。根据三个部分的构造不同,被利用在不同的真空领域。

   （2） 阀门的形式

 

    阀门大体有四种形式,即角阀,蝶阀,直通阀和闸阀。其特点由图2所示。各种阀门根据应用的真空领域而选定

 

   （3） 阀门的驱动

    阀门的驱动有手动和自动两种。自动阀门以压缩空气驱动为主,一部分小型阀门通过电磁铁来驱动。

    2.流量可变阀门

 

    流量可变阀门主要应用于控制向真空容器内气体导入量和控制有效排气速度。

   （1）气体导入阀门

    图3所示的阀门,通过控制无氧铜和超硬合金接触面的气体导通率来控制气体流量,信赖性高。流量可变阀门由金属构成,可以烘烤也可以切断气体导入。

           

    （2）流通量可变阀门

    这种阀门被安装在真空腔和排气泵之间,通过调节气体导通率来调节排气速度。相片1是蝶形阀门,通过活塞角度的变化调节气体导通率。