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王经理
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北京市通州区兴贸三街18号院
编:
10010
铺:
https://www.foodjx.com/st150937/
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椭圆偏振测厚仪规格参数

2022-3-8  阅读(229)

椭圆偏振测厚仪 型号:TPY-1

仪器介绍
TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射率,精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能,方便用户使用。
规格参数
测量范围薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量厚度最小示值(nm)≤1
偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚精度(nm)±1
折射率重复性精度±0.01
入射角调节范围20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm)632.8
光学中心高(mm)80
允许样品尺寸(mm)φ10-φ140,厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*290
主机重量(kg)25

 

配置表



型号
名称
数量
基本配置
TPY-1
椭圆偏振测厚仪主机
1台
TPY-1
主机电控箱
1套

二氧化硅膜样片
1片
TPY-1
椭圆偏振测厚仪专用软件
1套
需另配
计算机及打印机
1套





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