郑州科佳电炉有限公司

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公司信息

人:
范经理
址:
高新区玉兰街55号
编:
450000
铺:
https://www.foodjx.com/st156132/
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KJ-1200T1200℃双管滑道式CVD系统
1200℃双管滑道式CVD系统
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号 KJ-1200T
  • 品牌
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地

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更新时间:2022-01-21 14:57:43浏览次数:127

联系我们时请说明是食品机械设备网上看到的信息,谢谢!

【简单介绍】
产品介绍:该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究
【详细说明】
产品介绍:
   该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却。

应用范围:
    广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
 


技术参数:

产品名称

1200℃双管滑道式CVD系统

部分: 1200度滑道双管双温区管式炉

产品型号

1200度滑道管式炉

炉管尺寸

双石英管

外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

内管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

加热区

220+220mm

供电电源

230V,单相,50HZ

功率

4.0 kw

加热元件

电阻丝

升温速率

0-20°C/min

热电偶

 K型

第二部分: 水冷系统

法兰

1.水冷机 CW-3000

2.水冷,密封双管的真空法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.

第三部分  真空系统

真空系统

1. 防腐数显真空计   

2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含挡板阀 KF25接口,波纹管和箱体

第四部分  混气系统

质量流量计

量程:

MFC 1: 0~10 sccm  

MFC 2: 0~200 sccm  

MFC 3: 0~10 slm  

MFC 3: 0~10 slm  

.......

 

 

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

 



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