郑州科佳电炉有限公司

主营产品: 箱式马弗炉,管式炉,气氛炉等

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公司信息

人:
范经理
址:
高新区玉兰街55号
编:
450000
铺:
https://www.foodjx.com/st156132/
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KJ-1200T-S60LK3-3FZ1200度三温区CVD管式炉
1200度三温区CVD管式炉
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号 KJ-1200T-S60LK3-3FZ
  • 品牌
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地

联系方式:范经理查看联系方式

更新时间:2022-01-22 09:04:26浏览次数:183

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【简单介绍】
产品介绍:KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式炉由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成,温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合
【详细说明】

产品介绍:


KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式炉由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ,温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

KJ-T1200管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

 

应用范围:



KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD炉是一种特殊的CVD系统,广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。



规格参数:

高温炉壳体采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 
功率2.5 KW
电压AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 
加热元件掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其延长使用寿命)
工作温度1200℃
连续工作温度1100℃
升温速率<= 20 ℃
炉管材质和尺寸石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 
加热区长度三温区:200+200+200 mm
恒温区长度350  (+/-1 ℃) 
控温系统PID30段程序化控温
控温精度+/- 1 ℃
真空密封系统两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),漏气率6 mtorr/min
真空泵采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。
数字式真空显示计  数显真空计,已安装在不锈钢法兰上 
混气系统三个质量流量计
三路质量量程分别为
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
内部安装有一混气罐 
售后服务质保一年,终身保修


可选配件:

 

质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份



 

 

 

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

 



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