有热再生气体纯化制造成一体化的装置设备。其工作原理、设备操作及日常维护等说明如下：

一、工作原理：

   1摩尔氨（气态）在一定的压力和温度及镍触媒催化作用下，可分解为3/2摩尔的氢气和1/2摩尔的氮气，并吸收一定的热量。其化学方程式如下：

2NH₃ ^催化剂 3H₂＋N₂－Q

分解后的氢、氮混和气利用变温吸附再生的原理，经13X分子筛床吸附其中的水份及残氨，并保持其性质不变，从而达到干燥纯化的目的，而13X分子筛经加热，用纯化气冲洗,解吸被分子筛吸附的水分、残氨，从而达到再生重复使用的目的。

二、氨分解制氢的优点：

用此法制得的气体是一种良好的保护气体，可以广泛地应用于半导体工业，冶金工业，以及需用保护气氛的其它工业和科学研究中。氨分解制取保护气体，在工业上是很容易实现的，这是因为：

1、氨易分解：在压力不高，催化剂作用下，温度控制在750-830⁰C时氨可大量分解，其分解率可达到99.9%。

2、气体精制容易：作为原料的液态氨，纯度是很高的，其中挥发性杂质只有溶解在液氨中的少量惰性气体和水分，几乎不含氧，同时，氨分解所得气体经13X分子筛床吸附可除去其中的水分，其露点可达到-60⁰C，残氨小于5PPM即为精制的氢氮混合气，这样可以实现半导体工业上所不希望存在的有害的非金属元素。例如：氯和氧。

3、在我国，原料液氨容易得到，价格低廉，而且原料消耗也比较少（每公斤氨可产生2.5Nm³混合气体）。

 三、工艺流程：

 液氨经减压后进入分解炉，分解炉内装有活化过的镍触煤，在750℃～830℃温度下进行分解，气态氨回收热量升温后进入分解炉分解,分解后高温气体在热交换器内与气态氨进行热交换，分解气降温，进入干燥器（13X分子筛床层）除去残余水分及其它杂质。其纯度可达到如下：露点：-60℃，残氨5PPm以下。而干燥器一般设置二台，一台吸附干燥氨分解气，另一台在加热状态下（一般在300-350⁰C）解吸出其中的水份及残氨，从而达到再生、重复使用的效果。

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