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FS4003微机电气体质量传感器

产品概述:

FS4003微机电气体质量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。

FS4008微机电气体质量传感器，管道内径为8mm，测量范围大到50SLPM；

产品特点:

   - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计

  - 支持多种连接方式，易于安装与使用

    - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量

    - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高

    - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

    - 零点稳定度高

    - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

    - 低功耗、低压损

    - 响应速度快

产品特点:

性能参数 FS4003 FS4008 微机电气体质量传感器    单位

通 径 3 8 mm

大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM

量程比 100:1  

精 度 ±(1.5+0.2FS) %

重复性 0.75 %

零点输出飘移 ±30 mV

输出飘移 0.12 %/oC

响应时间 100 ms

工作电源 8~18Vdc,100mA   

输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc   

大流量压损 100 600 pa

大工作压力 0.5 MPa

工作温度 -10 ~ +55 oC

存储温度 -20 ~ +65 oC

工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）   

机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头  

校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa  

重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）

71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)