超纯水设备、纯水设备

从学术角度讲，高纯水又名超纯水，是指化学纯度*的水，其主要应用在生物、化学化工、

冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用zui普遍的还是电子工业。例

如电力系统所用的高纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中，水质标准所

规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破

坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁

多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。不过近年来电子级水

标准也在不断地修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用

都为制水工艺的发展创造了条件。

　　高纯水的国家标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我国高纯水的标准将电子级

水分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。

　　高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：1、微电子工艺对水质的要求；2、制水

工艺的水平；3、检测技术的现状。

　　在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除；

水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射

或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水

的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的使用寿

命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

　　天然水中溶解的气体主要有O 2 、CO 2 、SO 2 和少量的CH 4 、氡气、氯等，在高纯水的生产过

程中，还必需去除这类的气体。为了有效的去除杂质，在生产高纯水的过程中，加入了一些化学杀

菌剂，如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。