德国HBM PW2DC3/36Kg

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在现代社会的生产和生活中，人们往往会接触到各种各样的气体，需要对它们进行检测和控制。比如化工生产中气体成分的检测与控制；煤矿瓦斯浓度的检测与报警；环境污染情况的监测；煤气泄漏：火灾报警；燃烧情况的检测与控制等等。气敏电阻传感器就是一种将检测到的气体的成分和浓度转换为电信号的传感器。

1.气敏电阻的工作原理及其特性

气敏电阻是一种半导体敏感器件，它是利用气体的吸附而使半导体本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的。人们发现某些氧化物半导体材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO、NiO、BaTiO3等都具有气敏效应。

以SnO2气敏元件为例，它是由0.1～10μm的晶体集合而成，这种晶体是作为N型半导体而工作的。在正常情况下，是处于氧离子缺位的状态。当遇到离解能较小且易于失去电子的可燃性气体分子时，电子从气体分子向半导体迁移，半导体的载流子浓度增加，因此电导率增加。而对于P型半导体来说，它的晶格是阳离子缺位

状态，当遇到可燃性气体时其电导率则减小。

气敏电阻的温度特性如图2.26所示，图中纵坐标为

灵敏度，即由于电导率的变化所引起在负载上所得到的值

号电压。由曲线可以看出，SnO2在室温下虽能吸附气体，

但其电导率变化不大。但当温度增加后，电导率就发生较

大的变化，因此气敏元件在使用时需要加温。此外，在气

敏元件的材料中加入微量的铅、铂、金、银等元素以及一

些金属盐类催化剂可以获得低温时的灵敏度，也可增强对图2.26 气敏电阻灵敏度与温度的关系 气体种类的选择性。

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气敏电阻根据加热的方式可分为直热式和旁热式两种，直热式消耗功率大，稳定性较差，故应用逐渐减少。旁热式性能稳定，消耗功率小，其结构上往往加有封压双层的不锈钢丝网防爆，因此安全可靠，其应用面较广。

（1）氧化锌系气敏电阻

ZnO是属于N型金属氧化物半导体，也是一种应用较广泛的气敏器件。通过掺杂而获得不同气体的选择性，如掺铂可对异丁烷、丙烷、乙烷等气体有较高的灵敏度，而掺钯则对氢、一氧化碳、甲烷，烟雾等有较高的灵敏度。ZnO气敏电阻的结构如图2.27所示。这种气敏元件的结构特点是：在圆形基板上涂敷ZnO主体成分，当中加以隔膜层与催化剂分成两层而制成。例如生活环境中的一氧化碳浓度达0.8～1.15 ml/L时，就会出现呼吸急促，脉搏加快，甚至晕厥等状态，达1.84ml/L时则有在几分钟内死亡的危险，因此对一氧化碳检测必须快而准。利用SnO2 金属氧化物半导体气敏材料，通过对颗粒超微细化和掺杂工艺制备SnO2纳米颗粒，并以此为基体掺杂一定催化剂，经适当烧结工艺进行表面修饰，制成旁热式烧结型CO敏感元件，能够探测0.005%～0.5%范围的CO气体。

图2.27 ZnO气敏电阻结构 图2.28 γ-Fe2O3气敏电阻结构

1．催化剂；2．隔膜；3．ZnO涂层；4．加热丝； 1．双层网罩；2．烧结体；3．加圈；4．引脚

5．绝缘基板；6．电极

（2）氧化铁系气敏电阻

图2.28是γ-Fe2O3材料制成的气敏电阻整体结构。当还原性气体与多孔的γ-Fe2O3接触时，气敏电阻的晶粒表面受到还原作用转变为Fe3O4，其电阻串迅速降低。这种敏感元件用于检测烷类气体特别灵敏。

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