半导体腔室内高精度测温解决方案 测量/计量仪器

半导体腔室内高精度测温解决方案

产品描述：

1、精密测温NTC传感器；

2、真空贯通法兰；

3、精密多通道测温仪；

4、温度采集分析软件DAQ TEMP。

产品特点：

- 精密测温NTC传感器：

采用高精度NTC传感器，可实现对半导体光刻设备真空系统的精准测温。传感器敏感度高，响应时间短，稳定性优良，确保温度测量的准确性和可靠性。

- 真空贯通法兰：

采用真空贯通法兰，确保测温设备与真空系统之间的wanquan封闭。法兰设计合理，安装简便，有效防止真空系统泄漏，提高测温仪器的稳定性和可靠性。

- 精密多通道测温仪：

多通道测温仪设计精细，可同时测量多个点位的温度。仪器具备高分辨率、高采样率、高精度等优势，可满足对光刻设备真空系统多个位置温度进行精密监测的需求。

- 温度采集分析软件DAQ TEMP：

配备温度采集分析软件DAQ TEMP，可实时监测、采集、分析和记录温度数据。软件界面友好，操作简便，提供详细的温度曲线图、数据分析等功能，帮助用户更好地了解和掌握真空系统的温度变化。

本产品适用于半导体光刻设备制造厂商、研发机构以及相关的光刻设备维护和技术服务人员。它们可以利用本产品对光刻设备真空系统进行精密测温，有效提高设备的稳定性和可靠性，优化生产流程，提升产品质量。

半导体腔室内高精度测温解决方案