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详细介绍
COWAQ S150RTL-1自动真空磁控离子溅射镀膜仪技术参数:
1.尺寸:D W 410 mm x 390 mm x 410 mm H重量:20KG
2.样品腔室:150mm(D)×65mm(H)
3.选择靶:57mm(D)x 0.1/0.2mm(厚度)(标配靶:金)
4.旋转-倾斜样品台: 直径86mm，靶与样品表面溅射距离：40mm
5.真空度:1 x10-2 mbar-1 atm
6.溅射电流:10、20、30、40 mA可调
7.沉积速率:0-25nm /min
8.时间设定:0 - 300s可调
9.预设氩气针阀，样品室冲洗
10.真空泵:旋片真空泵
11.真空测量:皮拉尼真空计
12.厚度测量:可选
13.氩气纯度:99.99%, 压力设定:0.5/0.6bar, 6.0mm 真空管输入
14.电源:230 /50HZ
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