氧化/扩散炉 烧烤炉

氧化/扩散炉

应用于半导体分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2-8英寸工艺尺寸。

产品特点

● 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步

● 工艺曲线的自动运行控制功能

● 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能

● 自动运行中可暂停／继续运行功能

● 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

● PID参数自整定功能

● 工艺气体的程序控制功能

● 关键部件全部具有高可靠性

● 具有良好的人机界面

● 系统故障自诊功能

● 停电后断点继续运行功能等等

● 具有历史记录功能，可打印

● 具有多点温度补偿

● 可根据用户的特殊要求增减开发相应的功能

技术指标

● 可配置工艺管外径2～8英寸

● 可配置工艺管数量：1～4管/台

● 工作温度范围：400～1300℃

 青岛微弘设备技术有限公司（以下简称青岛微弘）是一家集研发、生产、销售为一体的半导体新能源设备、光伏太阳能新能源装备、材料热处理设备的综合性现代企业，自创立以来，通过产业经营与资本运营并举发展，已形成了光伏太阳能电池、功率半导体、锂电池材料、磁性材料、粉末冶金、硬质合金、陶瓷金属化等多行业发展的产业布局。公司立足山东，*，业务覆盖国内大部分省市和地区。

青岛微弘拥有十几年的专业研发制造经验，产品服务广泛应用于行业内的大专院校、科研院所、半导体制造、太阳能光伏制造、锂电池材料制造、高性能磁性材料制造等。核心产品方面，太阳能电池行业用的扩散炉等已达到国内*水平，可以替代进口设备。在功率半导体行业，成功研制生产真空扩散氧化炉、真空合金炉、LPCVD等产品，另外真空热处理炉、氢气炉等产品也已得到广泛的应用。       

青岛微弘拥有精良的科研、设计、制造、服务团队，为中国半导体设备行业协会会员单位、国家半导体照明工程研发及产业联盟会员单位、中国磁性材料与器件协会会员单位，承接并出色完成了一系列国家重点项目的设备的设计制造，为国家863计划等重大科技攻关项目做出了突出贡献。       

 公司坚持“质量是企业的生命，诚信是立足的根本，服务是发展的保障，不断创新是微弘永恒的追求”的经营理念，加快推进“高度专业化” 发展战略，致力于实现员工成长、客户满意、企业发展、社会进步的多赢。

● 恒温区长度：300～1250mm

● 恒温区精度：±0.5℃（800～1300℃）

● 单点温度稳定性：±0.5℃/24h（800～1300℃）

● 大可控升温速率：15℃/min

● 大降温速率：5℃/min

氧化/扩散炉