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详细介绍
真空烤盘炉
应用于LED行业MOCVD石墨盘的真空烘烤工艺
产品特点
● 优质的材质保证了设备的密封性，提高了设备的整体性能
● 法兰盘冷却水处理，密封处全部采用氟橡胶密封圈，保证设备的密封性及使用寿命
● 内置冷却电机，保证设备的低漏率，且运行可靠
● 真空室的压升率为5×10-3Torr /h，氦质谱仪进行检漏，漏率在E-11Pa.m3/s级
● 全自动程序控制功能，自动化程度高，自动与手动可随时转换，处理异常情况极为方便
● 关键部件全部采用进口部件，具有高可靠性
● 具有良好的人机界面
● 系统故障自诊功能
● 完善的报警系统及安全系统
● 具有历史记录功能
● 可根据用户的特殊要求增减开发相应功能
技术指标
规格与性能 | VBF-465 | VBF-650 | VBF-800 | VBF-1000 |
安装尺寸 W×L×H | 2450×2500×2050 | 2480×2500×2150 | 2930×2880×2400 | 3310×3000×2700 |
加热区尺寸φ×L | Φ520×700 | Φ750×750 | Φ890×1000 | Φ1080×1100 |
工作区尺寸φ×L | Φ480×600 | Φ650×740 | Φ800×900 | Φ1000×1000 |
载重量 | 120Kg～200Kg | |||
加热体功率 | 环状石墨加热器 380V 三相 总加热功率90～120KVA | |||
绝热系统 | 多层石墨毡、柔性石墨纸 | |||
高温度 | 1450℃（超温限制） | |||
分压气体选择 | N2/混合气体（Forming gas） | |||
备压气体选择 | N2 | |||
大升温速率 | 10℃/min(空炉) | |||
温度均匀性 | ±4℃（800～1400℃） | |||
冷态真空度 | （冷炉、空载、大气压状态下达到10-3 Torr）:≤30min | |||
抽气速率 | 清洁空炉：30min大于10-2 Torr | |||
腔体漏率 | 5×10-3 Torr/h | |||
大冷却速率 | 快冷开启之前可控可编 | |||
真空烤盘炉
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