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详细介绍
真空机械手
适用于真空腔室内的晶圆搬运，本产品结构紧凑，集成度高，无外置控制箱。
| 参数 | ZX1- | ZX2- |
| 结构形式 | 直线式 | 折叠式 |
| 适用基片 | ≤12” | |
| 载重量 | ≤0.5kg | |
| 运动方向 | 伸缩、旋转，可选配升降 | |
| 行程 | 伸缩:600mm/旋转:任意角度/升降:15mm；其他需求可定制 | |
| 重复精度 | ±0.1mm | |
| 可耐真空度 | ≤10-6Pa | |
| 接口 | Modbus TCP/IP、RS485(Modbus RTU)、Remote IO | |
| 其他 | 特殊手指结构可定制 | |
真空机械手
成都华聚科技有限公司位于成都市经济技术开发区（龙泉驿），是一家以自动化设备技术为核心，致力于数字化智能制造装备的高科技企业。
公司与国内外多个研究所、高校和企业*合作，始终以超前的科技和强大的创新能力，服务于客户。
公司主营业务覆盖：Cluster团簇式半导体工艺设备、PECVD设备、PVD设备、CVD设备、核心部件（机械手、加热器、Cluster团簇中心传送平台）、定制化真空设备、机电一体自动化服务（机电物联网服务）等一系列的产品或解决方案。
公司始终以“技术体现我们的智慧，质量体现我们的尊严” 作为公司经营理念，同时加强售前售后服务，我们始终以“质量良好、服务优先、技术*”作为追求目标。
公司汇聚了众多相关领域的人才，针对客户的产品特点提供专业解决方案，更能以优质的标准及非标产品超越客户的期望，深受广大客户的认可和赞誉！
公司现有26人专业团队，并另聘请研究员1人，大学材料教授和等离子物理团队6人，高级工程师2人，涵盖真空工程、材料科研、等离子物理，器件物理、化管理等方面的各种人才。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).
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