详细介绍
瑞士 sawatec HP-150 热版机
电炉 HP - 150
精密软硬烘烤
该热板HP-150是为典型的软烘焙和硬烘焙工艺的岩性,在MEMS和类似的应用。默认情况下,温度范围设计为250℃以下。设定的温度和温度分布具有较窄的边界,这意味着可以达到较高的涂层质量。HP系列产品具有较高的均匀性和高精度的工艺重复性,令人信服。可用于直径150mm以下,大厚度5mm的衬底。
热板易于平整,防止光刻胶通过真空手动固定基板的放电手动加载和卸载基板。
性能数据
温度范围:环境温度250℃以下温度精度:100℃时+/- 1℃
额外的功能(选项)
氮气手动冲洗,不氧化
简单的设置工具,为优化对齐的热板
功能(基本配置)
温度控制采用数字目标值和实际值显示,温度自动限位开关,无过热现象
热板采用安全玻璃,清洗方便
瑞士 sawatec HP-150 热版机
蓝星宇科技专业研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机等仪器设备。引进日本,德国,韩国*技术,设备已获得众多院校,研究所,高科技企业等客户*认可。
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