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详细介绍
| 蔡司 Crossbeam 340 | 蔡司 Crossbeam 550 | |
|---|---|---|
| 扫描电子束系统 | Gemini I VP 镜筒 - | Gemini II镜筒 可选Tandem decel |
| 样品仓尺寸和接口 | 标准样品仓有18个扩展接口 | 标准样品仓有18个扩展接口或者加大样品仓有22个扩展接口 |
| 样品台 | X/Y方向行程均为100mm | X/Y方向行程：标准样品仓100mm加大样品仓153 mm |
| 荷电控制 | 荷电中和电子枪 局域电荷中和器 可变气压 | 荷电中和电子枪 局域电荷中和器
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| 可选选项 | Inlens Duo探测器可依次获取SE/EsB图像 VPSE探测器 | Inlens SE 和 Inlens EsB可同时获取SE和ESB成像 大尺寸预真空室可传输8英寸晶元 注意加大样品仓可同时安装3支压缩空气驱动的附件。例如 STEM, 4分割背散射 探测器和局域电荷中和器 |
| 特点 | 由于采用了可变气压模式，从而具有更大范围的样品兼容性，适用于各类原位实验，可依次获取SE/EsB图像 | 高效的分析和成像，在各种条件下保持高分辨特性，同时获取Inlens SE和Inlens ESB图像 |
| *SE 二次电子，EsB 能量选择背散射电子 |
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