详细介绍
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产品特点
单轴气浮运动台为非接触式气浮导轨结构;高直线度平面度指标;纳米级微动步距;精密光栅尺闭环反馈;优化线缆管理系统;密封罩防尘装置;可搭配各轴使用 。
背景介绍
QF100系列
单轴气浮运动台是目前国内性能良好的气浮台,特殊的防尘处理装置。可作为单轴使用,或根据应用与其它轴组装成系统。搭配上*的控制系统,制造出性价比高的气浮位移系统,广泛应用于精密加工,测试测量,印刷、扫描、半导体及光子学等行业。
非接触式结构
QFL100系列采用非接触式气浮轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置,确保免维护运行,因为运动元件间没有机械接触,随着时间的推移,QFL100不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮轴承不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。
高精度指标
气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与直驱直线电机,精密光栅尺组成闭环控制,实现高精度移动定位。与摩擦式导轨相比,气浮直线台的直线度、平面度,Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高,同时由于非接触式,伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃,定位精度和重复精度得到了显著提高。
管线优化管理
经过多年研究,线缆管理对性能有影响,我们精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的线缆,以确保*操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。
密封装置
采用*的密封装置,不影响直线台的精度性能,在应用中防止异物进入气浮导轨。
定制化
可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨,提升精度性能,行程也可接受定制。
规格指标