三轴精密运动台

王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰

三轴精密运动台

产品型号：RBN150系列

产品应用：三轴精密运动台应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。

产品特点

• 非接触式直驱结构驱动

• 抗蠕动交叉滚柱导轨导向

• 百纳米级定位精度

• 纳米级微动步距

• 高动态性能

• 结构可接受定制

产品图片

产品用材设计

精密运动台采用非接触式直线直驱电机驱动，非常适合要求高精度的需求，其不会与磁铁发生不良反应，在低速运行时也能保持平稳，在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。

抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，工作时比较平稳；交叉排列,多方向受力时比较稳定；该结构可以把平台高度降低，结构紧凑，减小阿贝误差的影响。

非接触式光栅闭环反馈，优化考虑热膨胀的设计，这种紧凑是结构设计，在有限的空间内具有鲁棒性和准确度，获得重复定位精度±75nm，纳米级微动步距。

Z轴采用低摩擦气缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。

精密控制

配合业界上主导的控制器和驱动器相结合，可提供优异的伺服性能、*的控制算法，从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。

定制化设计

可定制用于真空环境下的版本。根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。

规格参数