三轴气浮运动台

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三轴气浮运动台

产品型号：QFL3D系列

产品应用

广泛应用于精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业。

产品图片

产品特点

• 非接触式气浮导轨结构

• 重复定位精度±75nm

• 结构紧凑精度高

• 根据需求可定制

• 优化后的线缆管理系统。

结构优势

QFL3D系列是一款非接触式三轴气浮运动台，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步距，还是速度稳定性的要求，QFL3D都证明是终的解决方案。采用直线电机驱动，具有零齿槽效应，高动态性能和电子噪音小等特点，高精度直线光栅反馈，搭配业界*的控制系统，组成三维运动系统，实现超精密定位。

定制化设计

根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴的行程大小等，都可以接受定制。为使阿贝误差影响到小，可以定制化各轴，保证精度性能。

线缆管理

精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的偏平电缆，以确保*操作，减少故障停机时间。

洁净室兼容性

气浮导轨本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境，所以成为实验室内的理想选择。

规格指标