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详细介绍
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
产品型号
QFR-NOTE系列
产品特点
闭式气浮轴承结构；
直驱零齿槽效应；
高轴向和径向刚度；
百纳米跳动误差；
低噪音结构设计；
高速度稳定性
产品图片
行业应用
精密气浮转台满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业，在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。
产品性能
精密气浮转台进行优化设计，使工作台面降到低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，大减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差也比较小，由此产生的面误差明显优于其它转台或气浮主轴，实现超精密转台的应用。
采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，大限度的提高了定位性能。电机采用磁路设计，以小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
采用精密圆光栅反馈，控制器对光栅栅距细分，分辨率达0.01角秒，轴向跳动误差100nm。结构可定制。
规格指标
型号 | 单位 | QFR-NOTE100 | QFR- NOTE200 | QFR- NOTE300 | |
行程 | degree | 360 | |||
台面直径 | mm | 66 | 148 | 248 | |
定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
标准值 | ±3 | ||||
双向重复定位精度 | Plus值 | arc sec | ≤1 | ||
标准值 | ≤1.5 | ||||
轴向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
标准值 | 250 | ||||
径向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
标准值 | 300 | ||||
电子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
速度（空载） | rpm | 300 | |||
负载 | Kg | 20 | 40 | 70 | |
供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||
售后服务
质保期为验收合格后12个月。
我公司在2小时内响应维护服务，24小时内到达现场维护，为更好的做产品售后服务工作，及时接收用户反馈的问题。
免费的电话咨询和服务；
反馈时间不超过2小时；
如果需要到现场服务，质保期外的我公司只收取人员的差旅费（北京市内除外）质保期外的，硬件如果需要更换或修理，只收取硬件的成本；
设备正常运行验收后，我公司指派专业工程师负责在现场为贵单位提供不受人员限制的产品设备培训，培训内容包括：设备正确操作使用知识；识别初级故障及必要的恢复方法；常见故障排除方法。
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