详细介绍
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
双轴气浮运动台定制用于非接触式轮廓测量。
型号:定制
产品特点
应用于非接触式轮廓测量;
行程170mm*360°;
非接触式气浮直驱结构;
结构紧凑,高精度;
跳动指标精度高;
产品图片
产品结构描述
双轴气浮运动台定制分别采用气浮导轨(Z轴)和气浮轴承(C轴)导向,直驱电机驱动及光栅尺闭环反馈,Z轴用低摩擦气缸配重,有效抵消电机向上输出力,应用于非接触式轮廓测量。
气浮结构因为运动元件间没有机械接触,随着时间的推移,不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮轴承不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择
用济南青大理石作为基座,济南青大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠。大理石做模态分析,结构尺寸,依据客户的要求做最终设计。
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规格参数
轴系 | Z轴 | C轴 |
行程 | 170mm | 360° |
定位精度 | ±0.3μm | ±2arc sec |
双向重复定位精度 | ±0.1μm | ±1arc sec |
全行程直线度 | 0.75μm | — |
全行程平面度 | 0.75μm | — |
同步轴向跳动 | — | 200nm |
同步径向跳动 | — | 200nm |
速度 | 100mm/s | 100rpm |
负载(组装后) | 5Kg |