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双轴气浮运动台定制

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更新时间:2023-11-24 11:18:27浏览次数:264

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产品简介

行程 170mm*360° 直线轴定位精度 ±0.3μm
直线轴重复定位精度 ±0.1μm 旋转轴定位精度 ±2arc?sec
旋转轴重复定位精度 ±1arc?sec    
双轴气浮运动台定制用于非接触式轮廓测量,气浮直驱结构,大理石作为机体,精度高,结构紧凑,结构可定制。

详细介绍

王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰

双轴气浮运动台定制用于非接触式轮廓测量。

型号:定制

产品特点

  • 应用于非接触式轮廓测量;

  • 行程170mm*360°;

  • 非接触式气浮直驱结构;

  • 结构紧凑,高精度;

  • 跳动指标精度高;


产品图片

637990126444320274815.jpg



产品结构描述

双轴气浮运动台定制分别采用气浮导轨(Z轴)和气浮轴承(C轴)导向,直驱电机驱动及光栅尺闭环反馈,Z轴用低摩擦气缸配重,有效抵消电机向上输出力,应用于非接触式轮廓测量。

气浮结构因为运动元件间没有机械接触,随着时间的推移,不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮轴承不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择

用济南青大理石作为基座,济南青大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠。大理石做模态分析,结构尺寸,依据客户的要求做最终设计。

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规格参数

轴系

Z

C

行程

170mm

360°

定位精度

±0.3μm

±2arc sec

双向重复定位精度

±0.1μm

±1arc sec

全行程直线度

0.75μm

全行程平面度

0.75μm

同步轴向跳动

200nm

同步径向跳动

200nm

速度

100mm/s

100rpm

负载(组装后)

5Kg





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