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详细介绍
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
产品简介
五轴精密运动台RBXG XY轴为双驱龙门结构，行程800mmx200mm。
Z轴结构，行程12.5mm。
Epin采用音圈电机驱动，光栅尺闭环反馈，用于晶圆切换。
XY轴中，结构紧凑，有效降低工作点的高度，降低阿贝误差对系统精度的影响，应用于晶圆加工及检测等领域。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。
五轴精密运动台RBXG 可接受定制
规格指标
轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
X 龙门轴 | 行程 | mm | 800 | 800 |
补偿后定位精度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
单向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
直线度 | μm | ±4 | ±0.55 | |
平面度 | μm | ±3 | ±0.85 | |
俯仰 | arc sec | ±5 | ±1.95 | |
偏摆 | arc sec | ±4.5 | ±1.4 | |
微动步距 | nm | 50 | 50 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
Y 轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
补偿后定位精度 | μm | ±1 | ±0.1 | |
单向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.05 | |
直线度 | μm | ±1 | ±0.65 | |
平面度 | μm | ±2 | ±0.95 | |
Pitch | arc sec | ±5 | ±3.1 | |
Yaw | arc sec | ±4.5 | ±0.8 | |
微动步距 | nm | 50 | 50 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
Z 轴 | 行程 | mm | 12.5 | 12.5 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.1 | |
单向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
微动步距 | nm | 100 | 100 | |
工作速度 | mm/s | 8 | 8 | |
C 轴 | 行程 | ° | 1 | 1 |
单向重复定位精度 | ° | ±0.003 | ±0.0007 | |
微动步距 | ° | 0.001 | 0.001 | |
工作速度 | °/s | 1 | 1 | |
Epin | 行程 | mm | 15 | 15 |
单向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
XY | 正交 | arc sec | 10 | 1 |
— | 负载 | kg | 3 | 3 |
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