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上海旦顺实业有限公司
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一.用途无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂胶后的软烘焙Softbaking)
一.用途
无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking)，曝光、显影后的坚膜硬烘（Hard baking)等工艺，适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。
二．特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避
免烘烤时产生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送
风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
三．产品技术参数
1.名称及型号：无尘烘箱 COL-2D-A
2.主要技术指标：
2.1无尘等级：Class 100;
2.2温度范围：常温+25～ 200℃,
2.3温度均匀度：±1.5%（空载）
2.4温度波动度：±0.5℃（空载）
2.5温控精度：±0.1℃;
2.6烘箱搁板为活动形式。
2.7工作尺寸：W1110×H630×D720（两箱式）
外形尺寸：W1980×H1975×D1545
2.8电源：380v , 50Hz，24Kw
3、箱体结构：
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免
烘烤时产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩
焊密封加工(防污染)。
4、温控系统
4.1温控器：韩国三元SP790温控仪表
程式编辑：可编30个程式，每个程式可编300段.
显示清晰直观，可编程控制系统操作灵活方便，性能稳定，工作更高效
4.2温度测量：采用特制锴装铂电阻。
4.3输出被控制组件：SSR无接点讯号输出。
5、完善的安全保护措施：漏电断路器//控制线路保险丝装置//超温防止保护装置//电热过电流保护装//马达过电流保护//机台异常蜂鸣器警示//逆向防止器//门面安全开关
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