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晶圆退火炉/半导体真空退火炉 AOL-100GV-HMI

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产品简介

晶圆退火炉/半导体真空退火炉AOL-100GV-HMI工作尺寸(mm):W610×H650×D750外形尺寸(mm):W1900×H2075×D1250功率:14KW性能特点:◆智能控制系统,PLC程序控制，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理

详细介绍

晶圆退火炉/半导体真空退火炉 AOL-100GV-HMI

工作尺寸(mm): W610×H650×D750

外形尺寸(mm): W1900×H2075×D1250

功率:14KW

性能特点:

◆ 智能控制系统,PLC程序控制，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理；

◆ 箱体周身做密闭氩弧焊接，耐高温硅胶迫紧；

◆ 特殊结构设计，含氧量：＜20PPM；

◆ 氧含量分析仪，可实时监测氧含量；

◆ 安装氮气控制装置，箱体可以接入氮气，N2数字流量器，可实时监控氮气流量；

◆ SUS310＃不锈钢无尘化电热产生器，防机台本身产生微尘；

◆ 无尘等级：Class 100

◆ 真空度：＜133Pa

技术参数：

1．送风方式：强制送风循环。

2．温度范围：+60～620℃。

3．温度波动：<±0.5℃。

4．温度均匀：200℃±3℃;350℃±4℃;600℃±7.5℃(空箱测试)

5. 升温速度：常温～600℃，升温速率0～8℃/min以内

6. 降温速度：500～360℃，1～2℃/min,360～200℃,5～1℃/min,200～125℃,3～1℃/min,125～

　　　　　　80℃,1～0.5℃/min，水冷+风冷降温。

7．控温方式：讯号来源，采用K型铂电阻感应棒±0.5%。

　　温控装置：欧姆龙PLC + 10寸工控电脑。

　　　　　　PC 内部记录数据，使用 Excel 等常用软件可以读取，最短数据记录间隔5S

　　　　　　历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)

　　　　　　系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位

　　温控输出：SSR输出

8. 氮气控制装置：氮气流量计，N2数字流量器，可实时监控氮气流量。

9. 箱体材料：外部采用1.2mm厚度冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤。

10．内室材料：采用 2.0mm厚度SUS310优质不锈钢钢板，周身做密闭氩弧焊接

11．保温材料：120K级高密度硅酸铝纤维；

12．电加热器：覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化U型管状（不锈钢SUS310#）电热发生器。

13．保护装置：漏电断路器，超温保护，开门氮气自动中断保护，马达过载电流保护，N2流量动态监

　　　　　　控，排风口压力报警，工作期间门自动锁闭

关键词：PLC 保温材料硅酸铝

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