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产品型号IH-860DSIC
品 牌其他品牌
厂商性质经销商
所 在 地青岛市
联系方式:张女士查看联系方式
更新时间:2021-08-31 15:12:26浏览次数:315次
产品分类 品牌分类
经营模式:经销商
商铺产品:10条
所在地区:山东青岛市
联系人:张女士 (商务)
配备高温ESC的SiC量产用高能离子注入装置。配备高温ESC的SiC量产用高能离子注入装置。配备高温ESC的SiC量产用高能离子注入装置。
·可以自动连续高温处理注入
·1价离子可注入350keV,2价离子可注入700keV(可选择1价离子可注入430keV,2价离子可支持860keV)
·在双端站实现高吞吐量(A系4“高温ESC/B系3"高温ESC、A系6“高温ESC/B系6"常温ESC等,可根据客户的要求构建规格)
·可以进行链条注入,减轻操作员的负荷
·小型设计
·从试作到量产可以广泛对应
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