应特格ENTEGRIS气体过滤器WDFA80PTF 返回列表页

Wafergard III NF 微型在线气体过滤器
为超纯气体系统提供的惰性和反应性气体颗粒过滤。

可用的最清洁、的全金属过滤器
获得的镍过滤膜具有的耐腐蚀性和与惰性气体和反应性气体的出色兼容性*
的外壳组件通过最小化焊接面积来消除除气
全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
紧凑的尺寸和灵活的配件选择可提高设计效率并最大限度地降低工程成本
*不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用。
应用
Wafergard III NF 微型在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
动压应用
惰性和反应性气体
产品规格
材料 滤芯 获得的烧结镍膜过滤器
 住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子* 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
易挥发的** H 2 O、O 2和 THC 的挥发性释气低于可检测限（在室温下通过 RGA 和 FID）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤5 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2x10 -10  atm cc/秒。
 经过测试 1x10 -9  atm cc/秒。
运行条件 最大允许工作压力（设计压力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
 最大正向/反向压差：35 bar (500 psid)
 最高工作温度：惰性气体 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蚀性和反应性气体：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修单 5年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 参考性能数据
*颗粒清洁度符合 SEMASPEC 颗粒粉碎测试方法 (#93021511A-STD)
**挥发性清洁度符合 SEMASPEC THC 贡献测试方法 (#90120396B-STD)、水分贡献 (#90120397B-STD) 和氧气贡献 (# 90120398B-STD）。
零件号
Wafergard III NF 微型在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3L005NS2S1 1/8" Swagelok 压缩接头 50.8 毫米（2.00 英寸）
WG3NS5RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NSMFF2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）内螺纹入口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NSMFR2 1/4" 极化垫圈密封（与 VCR 接头兼容）内螺纹入口/外螺纹出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMJJ2 1/4" 对接焊入口/出口 28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NSMRF2 1/4" 极化垫片密封件（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/内螺纹出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMSL2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 50.8 毫米（2.00 英寸）