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深圳市科晶智达科技有限公司
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简要描述:GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的较简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
功能特点 |
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技术参数 | |||
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安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) | ||
电 | AC220V 50Hz,必须有良好接地 | ||
气 | 设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) | ||
工作台 | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 | ||
通风装置 | 不需要 | ||
靶 | Ø50mm | ||
真空室 | Ø160mm×120mm | ||
MAX真空度 | ≤4×10-2mbar | ||
大电流 | 50mA(100mA) | ||
可设定长时间 | 9999s | ||
微型真空气阀 | 连接Ø3mm软管 | ||
MAX电压 | 1600V DC | ||
机械泵 | 2L/s | ||
尺寸 | 360mm×300mm×380mm | ||
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
2 | 进气针阀 | 1个 | |
3 | 保险丝 | 2个 |
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