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深圳市科晶智达科技有限公司
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简要描述:VTC-1RF是一款小型台式单靶等离子溅射仪(射频磁控型),配有1英寸的磁控等离子溅射头和射频(RF)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。
技术参数
输入电源 |
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等离子源 |
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磁控溅射头 |
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真空腔体 |
<5×10-5 torr (采涡旋分子泵) |
载样台 |
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真空泵 | 我公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电我公司销售 |
薄膜测厚仪 |
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质保和质量认证 |
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外形尺寸 |
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使用注意事项 |
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