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PCE-6 小型等离子清洗机

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更新时间:2023-01-24 09:41:13浏览次数:31次

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产品简介

简要描述:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 160mm190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

详细介绍

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

功能特点
  • 拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片
  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间
  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上
  • 设有一个三通阀,可大体控制进气流量
技术参数
主要参数

● 输出功率:7.2W、10.2W、29.6W

● 总功率:<600W

● 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节

● 电源:AC220V 50Hz

等离子腔体

● 高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗

● 带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察

控制面板

● 控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。

真空泵(标配)

● 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵

等离子清洗机及刻蚀的方法

惰性气体

● 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

● 等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体

可选配件

● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合

● 您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片

外形尺寸

400mm×300mm×300mm

净重

10.2kg

认证

CE认证

质保期

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。



关键词:清洗机 真空泵
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