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TKF SS-A 系列不锈钢气体过滤器

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更新时间：2024-09-03 07:41:58浏览次数：182次

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上海进申工贸有限公司

经营模式：经销商

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产品简介

超高纯度直列式气体过滤器,均为316L不锈钢结构,高温和动态压力应用,尺寸紧凑、端接可变产品特点■15至300SLPM的宽流速范围■能地兼容大多数高纯度半导体工艺气体■3纳米颗粒过滤能力可以以最小的压降保持高流动效率■5Ra电抛光表面可防止内部污染■去离子水清洗后用热氮气烘烤

详细介绍

超高纯度直列式气体过滤器,均为 316L 不锈钢结构,高温和动态压力应用,尺寸紧凑、端接可变

产品特点
■15 至 300 SLPM 的宽流速范围
■能地兼容大多数高纯度半导体工艺气体
■3 纳米颗粒过滤能力可以以最小的压降保持高流动效率
■5Ra 电抛光表面可防止内部污染
■去离子水清洗后用热氮气烘烤，以满足半导体工艺标准
■100 等级制造、清洁和包装环境
■99% 通过氦气泄漏测试