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水汽捕集泵

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产品型号ZK-1100D16

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更新时间：2017-11-27 11:58:23浏览次数：463次

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北京德馨永嘉科技有限公司

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产品简介

真空镀膜配套水汽捕集泵厂家厂价直销水蒸汽,油蒸汽等残余气体产生的原因: 在高真空环境中,都存在有一定的残余气体。

详细介绍

永佳-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及维修）
水汽捕集泵 又称：POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.

北京德馨永嘉公司研发生产的-135℃深冷，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于地位，达到甚至超过*水平。

型号	ZK-1100D12	ZK-1100D16		ZK-1100D16L		ZK-1100D18		ZK-1100D18L
功率（KW）	10	14		14		18		18
zui大制冷量（W）（-100℃）	2000	3000		3000		4000		4000
电源	380V，50HZ
抽速L/S	149200		238200		238200		372500		282000
预冷时间（min）	30
除霜时间（min）	≤3		≤3		≤3		≤4		≤4
再降温时间（min）	≤3		≤3		≤3		≤3		≤3
低温管表面积（㎡）	1		1.8		1.5		2.5		2
低温管规格	20m		38m		双路15m		50m		双路20m
冷却方式	水冷，水温≤30℃
冷水流量（t/h）	1.6		2.5		2.5		3		3
冷水接口尺寸（mm）	16		16		16		19		19
需冷水机功率（HP）	5		8		8		10		10
适用油泵直径（mm）	≤800		≤900		≤600		1000或1200		≤800
适用真空腔室直径（mm）	≤1300		≤1500		≤1000		≤1800		≤1500